Halbleitertechnik

Die Halbleitertechnik (HLT) ist ein technischer Fachbereich, der sich mit Entwurf und Fertigung von Produkten auf der Basis von Halbleitermaterialien, vor allem mit denen für mikroelektronische Baugruppen, beispielsweise integrierte Schaltungen, beschäftigt. Historisch wird sie, aufgrund der Verwendung der Produkte als Schlüsselkomponenten in elektrotechnischen Erzeugnissen, als Teilgebiet der Elektrotechnik, speziell der Mikroelektronik und Nanoelektronik, gesehen. Trifft man die Zuordnung aufgrund der eingesetzten Methoden, Verfahren und materialtechnischen Eigenschaften der hergestellten Produkte, ist auch eine Zuordnung zu den Bereichen Chemietechnik und Keramik möglich.

Verwandte oder abgeleitete Fachbereiche sind die Mikrosystemtechnik und die Photovoltaik. Diese beiden nutzen ebenfalls Verfahren der Halbleitertechnik, verwenden aber im Kern keine mikroelektronischen Schaltkreise. Da die Grenzen zur Halbleitertechnik fließend sind, werden jedoch zunehmend auch Mikrosysteme und die Auswertungselektronik auf einem Substrat integriert; beispielsweise bei Smart-Sensoren.

In der Praxis gibt es zwei verschiedene Sichtweisen auf die Halbleitertechnik:

• Die Einzelprozess-Sicht: Dabei werden die struktur- oder eigenschaftsändernden Verfahren an sich unter dem Aspekt betrachtet, welche Parameter der Prozesse zu den gewünschten physikalischen Eigenschaften wie Dimension, Leitfähigkeit, Homogenität etc. führen.
• Die Integrationssicht: Dabei wird die zu realisierende Struktur – eine Transistor- oder eine Leitungsebene – unter dem Aspekt betrachtet, welche Einzelprozesse zu den gewünschten elektrischen – oder seltener mechanischen oder optischen – Eigenschaften der Struktur führen.